真空烧结炉的主要原理以及检测方法

烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。

真空烧结炉的主要原理

真空烧结炉是在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。烧结炉磁饱和铁芯反应器控制另一种方法，很准确地保持温度恒定，称为磁饱和铁芯反应器控制。真空感应炉是利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。 真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备，是为硬质合金、金属镝、陶瓷材料的工业生产而设计的。

检测烧结炉的炉衬厚度有以下几种检测方法

应力波法：应力波动信号对结构缺陷有很高的敏感性，当应力波在介质传播时，如遇到孔洞、裂纹等界面不连续处，就会发生反射、折射、散射和模式转换，利用应力波的特性可以确定冷却壁材料的厚度。其主要组成为：电炉本体、真空系统、水冷系统、气动系统、液压系统、进出料机构、底座、工作台、感应加热装置(钨加热体及保温材料)、进电装置、中频电源及电气控制系统等。电容法：电容法与电阻法类似，在炉衬内部埋设同轴圆形电容器传感器，电容值与其长度成对应关系，可以通过测量电容值来确定高炉砌体的厚度。通过这些方法，对炉衬的一些基本数据和性能有了初步的判断和坚定，对电炉的大体的工作状况有些概括的了解。

烧结炉的运行过程

(1)粉末压坯具有较大的自由表面，烧结过程一般需要保护气氛，并且对各种烧结气氛的反应很敏感； (2)金属粉末表面一般存在着氧化膜，影响金属之间接触，阻碍烧结进行，需在烧结过程中使金属氧化物得到还原； (3)压坯在成形过程产生的应力应予以消除； (4)压坯中含有一定数量的挥发性添加剂，需在烧结前的升温加热阶段予以烧除；

烧结炉炉底烧结层

在这种变化的条件下，烧结炉底能够而且应该在相当高的温度和改变烧结材料数量及质量组成的情况下进行，以保证制作更坚固和寿命更高的炉底烧结层。 在许多工厂已经成功地应用了采用氧化铁皮烧结炉底的方法。先进的烧结炉底方法推广较慢的原因是-缺乏被公认的烧结层形成过程的理论，结果产生了各种不同的烧结方法，对材料的选择和数量配比问题以及合理的温度制度的确定没有提出明晰的叙述。