真空烧结炉安全操作规程

真空烧结炉顾名思义就是在真空环境下对原料进行加热烧结的炉子，利用感应加热对被加热物品进行保护性烧结，利用中频感应加热的原理使硬质合金刀头及各种金属粉末压制体实现烧结的成套设备。常常被用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结等，真空感应烧结炉是在真空或保护气氛条件下。小编今天来给大家介绍的内容是，真空烧结炉安全操作规程。

1．中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷0却水源——蓄水池之水须充满，水中不得有杂质。

2．开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷·却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。

3．检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。

4．检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一0级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。

5．检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。

6．检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。

7．检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。

8．在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。

9．真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。

10．真空烧结炉装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。